激光干涉儀的原理和說明
干涉儀是很廣泛的一類實(shí)驗(yàn)技術(shù)的總稱，其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息，從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅僅局限于光干涉儀。干涉儀在天文學(xué)，光學(xué)，工程測量，海洋學(xué)，地震學(xué)，波譜分析，量子物理實(shí)驗(yàn)，遙感，雷達(dá)等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。
激光干涉透射法檢測元件厚度差的原理：
在激光干涉儀進(jìn)行透射測量時，激光光源發(fā)出的單色光,垂直向下經(jīng)過被檢元件上、下兩表面被標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射后會形成干涉條紋，每個點(diǎn)上所生的干涉條紋取決于該點(diǎn)上兩相干的光的光程差。當(dāng)光程差為nλ+0.5λ時，顯示為暗條紋；當(dāng)光程差為nλ+λ時，顯示為亮條紋；所以，當(dāng)被檢元件的兩個面不完全平行，存在楔角時，沿楔角方向，元件的厚度逐漸增大，相應(yīng)的光程差也逐漸變大，沿楔角方向就會產(chǎn)生間隔分布亮暗條紋。楔角越大，條紋越密集。
檢測指標(biāo)的簡單說明：
PV值在數(shù)學(xué)上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即最大值和最小值的差值。單位是λ(波長)。對應(yīng)到干涉儀透射檢測上，就是被檢元件的厚度差。
RMS值在數(shù)學(xué)上的定義是均方根值(root-mean-square)，單位是λ(波長),這是一個統(tǒng)計(jì)值，RMS的大小反映了這些數(shù)據(jù)值的離散程度。對應(yīng)到干涉儀透射檢測上，RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好，高低起伏越少。
TTV值條紋根數(shù)是肉眼可見的被檢元件厚度差的直觀表現(xiàn)，與PV值成線性關(guān)系。條紋根數(shù)越少表明被檢元件的厚度差越小。
POWER值是測量物體上的最亮或最暗值。
速德瑞自主研發(fā)生產(chǎn)的激光干涉儀GBM01A、GBM08A為更多用戶提供了便利，使更多使用者可以快速并準(zhǔn)確地檢測所需的數(shù)值；那么這兩款有哪些區(qū)別呢？請看以下對比參數(shù)：
序號 | 名稱 | GBM01A | GBM08A |
1 | 測量原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 |
2 | 激光器 | 半導(dǎo)體激光器 635nm | 半導(dǎo)體激光器 635nm 940nm |
3 | 有效孔徑 | 6.5mm | 16.5mm （允許同時管控8個孔） |
4 | 標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度 | 0.05λ | 0.05λ |
5 | 面形值重復(fù)精度 | PV 0.06λ(標(biāo)準(zhǔn)片) | PV 0.06λ(標(biāo)準(zhǔn)片) |
6 | 面形值量程 | PV 0～3λ | PV 0～3λ |
7 | 測試時間 | PV測試：1秒； 條紋數(shù)測試：1秒內(nèi) | PV測試：1秒； 條紋數(shù)測試：1秒內(nèi) |
8 | 夾具 | 有 | 有 |
9 | 軟件 | PVmeter | PVmeter |
10 | 電源 | 220V 60W | 220V 60W |
11 | 通訊接口 | USB | USB |
12 | 重量 | 25Kg | 15Kg |
13 | 自動化接口 | 預(yù)留 | 預(yù)留 |
